1700C Alta temperatura 3 zonas laboratorio CVD horno de tubo de vacío con tubo de aluminio OD60mm

Resumen del producto

PTC D60/600/17/3 es un horno de tubo de 60 mm OD de 3 zonas certificado por CE con brida de sellado de vacío completo.Cada zona de calefacción es de 12 " de largo y controlado por tres precisión 30 segmentos de controladores de temperatura digital de forma independienteUna zona (zona central) es calentada por elementos Super-1800 MoSi2 hasta 1700°C, y otras dos zonas son calentadas por elementos SiC hasta 1400°C.El horno de tubo puede crear el gradiente térmico variado mediante el ajuste de tres zonas de temperaturaEs un excelente horno para preparar materiales funcionales bajo gradiente térmico, y también se puede utilizar para el crecimiento de película epitaxial por CVD.

Principales características

• Rango de temperatura de trabajo de 1200°C a 1700°C
• Dos estructuras de acero, pérdida de calor mínima; tres zonas de calefacción, controladas de forma independiente
• 99.6% tubo de aluminio con bridas de sellado de refrigeración por agua de apertura rápida SS304
• Los potentes elementos de calefacción MoSi2 aseguran una temperatura uniforme
• Cámara aislada por fibra para una máxima estabilidad y uniformidad a temperatura
• Controlador PID digital con 30 segmentos programables
• Conjunto individual de dispositivos de suministro de gas, disponible para mezclar gas con Ar, N2 CO, H2 etc.
• Termócouple de tipo B de larga duración
• Certificado CE

Medidas de seguridad

• Amperiómetro incorporado y doble voltímetro para una fácil monitorización y solución de problemas.
• La protección contra el sobrecalentamiento apaga el horno si la temperatura está fuera del rango aceptable (consulte el manual del controlador) o cuando el termoparejo está roto o funciona mal.
• La protección contra fallos de alimentación reanuda el funcionamiento del horno inmediatamente después del punto de falla cuando se restablece la alimentación.
• El control PID de autoajuste basado en microprocesador proporciona un proceso térmico óptimo con una sobrecarga mínima

Detalles del producto

Horno de tubo de vacío de alta temperatura CVD de tres zonas a 1700°C

• El horno de tubo CVD de alta temperatura de 1700 C está compuesto principalmente de cinco partes: cuerpo del horno, tubo del horno, accesorios de sellado de la brida, sistema de suministro de gas,sistema de vacío y sistema de control de temperatura
• La cáscara exterior de acero del horno se procesa con decapado y fosfatado, revestimiento en polvo ambiental en la superficie, resistencia a la corrosión y la oxidación, ventilador de enfriamiento incorporado,temperatura de la superficie Rt+45°C
• Conformidad ISO, CE

Perfil de la cámara para horno de tubo de alta temperatura CVD a 1700 °C de 3 zonas

• Alto aislamiento cerámico de alúmina, grabado CNC, paredes de la cámara de acoplamiento estrechamente, tipo U MoSi2 calentador, resistente a temperaturas de hasta 1800C
• longitud de calentamiento de 600 mm, adecuado para el tubo de aluminio de diámetro de 60 mm. tubo de procesamiento de aluminio alto, resistencia a la temperatura hasta 1700 ° C,La parte crítica de la zona de calefacción dentro del tubo del horno está equipada con el tapón del tubo de cerámica, lo que puede evitar eficazmente que el calor se escape y reducir la pérdida de calor.
• Termócouple de tipo B

Flange de apertura rápida, soportes de tubos de horno, boquilla de gas de pagoda de 1/4 "unidad de bomba de vacío

• Equipado con accesorios de brida de refrigeración por agua de apertura rápida SS304 para carga y descarga rápida de materiales, sellado con anillos de sellado de caucho de flúor resistentes a altas temperaturas
• La entrada y salida de aire adopta una boquilla de aire de pagoda de G1/4 pulgadas, que se puede conectar a una tubería de PTFE con un diámetro exterior de 8 mm.
• Unidad de bomba molecular conectada con KF25, asegúrese de que el nivel de vacío alcanza a 10 *-5mbar

Programas de calefacción para horno de tubo de alta frecuencia de 1700 ° C CVD de 3 zonas

• 30 segmentos programables, velocidad de calentamiento 1-10C/min ajustada libremente
• Buen aislamiento térmico, enfriamiento natural, enfriamiento suave
• Panel de pantalla táctil de 7 "es opcional, los programas de calefacción se pueden mostrar a tiempo, y descargar

T.Especificaciones técnicas

Nota de solicitud

• La presión del tubo de procesamiento debe ser inferior a 0,02 MPa
• La fuente de gas debe equipar la válvula reductora de presión
• Antes de llenar los gases de reducción como H2, debe bombear el aire fuera del tubo
• Al llenar los gases de la entrada de gas en el tubo, debe asegurarse de que la válvula de salida de gas abierto

Comparación de tamaño